المضخة المبردة هي مضخة تفريغ تستخدم سطحًا بدرجة حرارة منخفضة لتكثيف الغاز ، وتُعرف أيضًا بمضخة التكثيف. يمكن للمضخة المبردة الحصول على فراغ نظيف بأعلى معدل ضخ وأدنى ضغط نهائي ، وتستخدم على نطاق واسع في البحث وإنتاج أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة ، بالإضافة إلى أبحاث الحزمة الجزيئية ، ومعدات الطلاء بالفراغ ، وأدوات تحليل سطح الفراغ ، والأيونات الزرع ومحاكاة الفضاء. الأجهزة ، إلخ.
مبدأ الضخ إن المضخة المبردة مزودة بلوحة باردة مبردة إلى درجة حرارة منخفضة للغاية بواسطة الهيليوم السائل أو الثلاجة. إنه يكثف الغاز ويحافظ على ضغط بخار المكثف تحت الضغط النهائي للمضخة ، وذلك لتحقيق تأثير الضخ. تتمثل الوظائف الرئيسية للضخ في درجات الحرارة المنخفضة في التكثيف بدرجة حرارة منخفضة ، والامتصاص بدرجة حرارة منخفضة ، والتقاط درجة حرارة منخفضة.
cryopump
① تكثيف درجات الحرارة المنخفضة: تتكثف جزيئات الغاز على سطح الصفيحة الباردة أو على طبقة الغاز المكثف ، وضغط التوازن يساوي في الأساس ضغط بخار المكثف. عند ضخ الهيدروجين ، تكون درجة حرارة اللوح البارد أقل.
② امتصاص منخفض الحرارة: يتم امتصاص جزيئات الغاز على سطح المادة الماصة المطلية على الصفيحة الباردة بسمك طبقة جزيئية واحدة. ضغط التوازن للامتصاص أقل بكثير من ضغط البخار عند نفس درجة الحرارة.
③ الاصطياد المبرد: يتم دفن جزيئات الغاز التي لا يمكن تكثيفها عند درجة حرارة الاستخراج وامتصاصها بواسطة الطبقة المتنامية من الغاز القابل للتكثيف.